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上海交通大学厚金溅射系统公开招标公告

作者: 唐山便民助手 发布时间: 2022年06月26日 16:54:00

项目概况 厚金溅射系统 招标项目的潜在投标人应在电子邮件获取(270520172@qq.com)获取招标文件,并于2022年07月18日 10点00分(北京时间)前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号:招设2022A00014(采购代理机构编号:ZZB-22083)

项目名称:厚金溅射系统

预算金额:160.0000000 万元(人民币)

最高限价(如有):160.0000000 万元(人民币)

采购需求:

序号

 

设备名称

 

简要技术规格

 

数量

 

1

 

厚金溅射系统

 

工件台尺寸:圆形工件台,直径4英寸;

单盘装载量:可装载一个直径4英寸样品;

靶枪数量:五个直径2英寸可调角度靶枪;

极限真空:优于5E-6Pa;

抽气速率:工艺腔从大气抽到 5E-6Pa的时间少于120分钟;

工艺恢复时间:工艺腔传送样品后恢复到 5E-6Pa 的时间少于 90 分钟;

漏率:优于5E-3Pa.L/s;

基片加热:工件台加热温度最高 600℃;

控温精度:1℃;

镀膜均匀性:直径4 英寸范围内均匀性优于±3%;

镀膜重复性:批次间重复性优于±2%。

具体参数详见采购需求

 

1台

 

合同履行期限:合同签订后90日历天交付

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求:

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

2.落实政府采购政策需满足的资格要求:

促进中小企业、监狱企业、残疾人福利性单位发展。规范进口产品采购政策。

3.本项目的特定资格要求:1)近三年(从2019年6月1日至投标截止前)未被列入“信用中国”网站()失信被执行人名单、重大税收违法案件当事人名单和中国政府采购网()政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商;2)单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得参加同一合同项下的政府采购活动;3)为本项目提供整体设计、技术编制或者检测等服务的供应商不得参加本次政府采购活动;4)本项目不接受联合体投标;

三、获取招标文件

时间:2022年06月27日  至 2022年07月01日,每天上午8:00至14:00,下午12:00至21:00。(北京时间,法定节假日除外)

地点:电子邮件获取(270520172@qq.com)

方式:电子邮件报名审核通过后获取(售后不退))

售价:¥500.0 元,本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间:2022年07月18日 10点00分(北京时间)

开标时间:2022年07月18日 10点00分(北京时间)

地点:上海市静安区石门二路258号8楼会议室(疫情期间具体会议室将根据实际情况确定,请注意采购代理机构通知并预留充足的时间提早到达)

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

1、电子邮件报名请提供以下材料:

(1) 法人授权委托书(需注明项目名称、有公章以及法定代表人签字或盖章,原件扫描件);

(2) 授权代表的个人身份证(原件扫描件);

(3) 法人或者其他组织的营业执照等证明文件;(原件扫描件)

注:电子邮件报名时请在邮件中注明单位名称、联系方式,联系人必须是授权委托书中的授权代表。如有缺漏,采购代理机构将拒绝接受其报名。投标单位对扫描件与原件的一致性负责,若被核查有不一致或弄虚作假,将否决其投标,并承担相应责任。

2、采购代理机构确认报名成功后,请将下列资料在投标时另行单独递交给采购代理机构:

(1) 法人授权委托书(原件);

(2) 授权代表的个人身份证复印件加盖投标单位公章;(复印件加盖公章)

(3) 法人或者其他组织的营业执照等证明文件的;(复印件加盖公章)

报名时提供的资料应与投标文件中的资格证明文件一致,投标人的资格合格与否,将由评审委员会决定。

3、发布本次招标公告的媒体名称:中国政府采购网、上海交通大学数字化采购平台;

4、信息若有变更我们会通过以上媒体通知,请供应商关注;

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